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          CVD燒結管式電阻爐

          一、CVD燒結管式電阻爐概述
                 CVD燒結管式電阻爐主要應用于高等院校、科研院所、工礦企業等實驗和小批量生產之用。主要用于粉體、電子、陶瓷等其它產品的預燒、燒結、鍍膜、高溫熱解低溫沉積(CVD)工藝等。

          二、CVD燒結管式電阻爐特點
                 1、爐膛材料采用陶瓷纖維,呈現溫場均衡、表面溫度低、升溫速率快、節能等優點;
                 2、電熱元件采用高電阻合金絲,表面負荷高,發熱速度快;
                 3、爐體兩端采用不銹鋼密封法蘭,耐高溫、耐腐蝕;
                 4、保護管采用高純石英管 ,氣管采用密封快接插頭,安裝方便;
                 5、爐體采用雙層空氣隔熱技術,配有自動冷卻風扇,降低爐體外殼溫度;
                 6、控制系統采用40段程序控溫,控溫精度±1℃,移相觸發、可控硅控制。

          三、CVD燒結管式電阻爐參數
           項目 指標值
          額定功率 4KW
          額定電壓 AC220V   50/60Hz
          高溫度 1600℃
          額定溫度 1500℃
          升溫速率 ≤10 ℃/min
          爐管尺寸 Dia 80 X 1000 mm
          控溫精度 ±1℃
          控溫方式 32段程序 PID程序控溫 
          (日本)
          熱電偶型號  B型
          加熱元件  硅鉬棒
          爐管材料   99剛玉
          重量 約120 Kg
          爐膛材料 氧化鋁多晶體纖維  氧化鋁含量95% (真空成型) 美國
          爐殼表面溫度 ≤35 ℃

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